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wafer mount设备改造升级
发表日期:2019-05-23 12:37   文章编辑:admin    浏览次数:
 wafer mount设备改造升级,修改安川机器人及欧姆龙PLC程序,增加人工放晶圆歪斜导致停机后,防止回原点时机器人损坏晶圆的保护功能。














标签:wafer mount,设备改造,安川机器人    
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